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J-GLOBAL ID：200903069184678743

光波干渉計を用いた寸法測定装置

Inventor： 鳴海 達也
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ
Agent (1)： 吉田 研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998203131
Publication number (International publication number)：2000035314
Application date： Jul. 17, 1998
Publication date： Feb. 02, 2000
Summary：

【要約】【課題】 光波干渉計において、定期校正の時点から離れた時点で測定されたデータの信頼性を向上する。【解決手段】 過去の測定における各パラメータを記憶しているメモリ100から、再計算しようとする測定の各パラメータを読み出す。修正部104は、読み出されたパラメータの少なくとも一つを変更し、これを用いて寸法算出部110は、寸法を再算出する。定期校正の直前に行われた測定に対し、校正値が前回と変化していても、校正値を変更し再計算することによって、前回の測定データを有効に利用でき、再度測定を行う必要がない。

Claim (excerpt)：

寸法測定を行う際に用いる各パラメータの測定時の値を記憶する記憶手段と、前記パラメータの測定時の値のうち少なくとも一つを修正する修正手段と、前記パラメータの修正された値を用いて寸法を算出する寸法算出手段と、を有する光波干渉計を用いた寸法測定装置。

IPC (2)：

G01B 11/02 ,  G01B 9/02

FI (2)：

G01B 11/02 G ,  G01B 9/02

F-Term (28)：

2F064AA01 ,  2F064CC04 ,  2F064DD02 ,  2F064FF02 ,  2F064GG12 ,  2F064GG38 ,  2F064GG39 ,  2F064GG47 ,  2F064HH01 ,  2F064JJ06 ,  2F065AA02 ,  2F065AA22 ,  2F065DD06 ,  2F065EE01 ,  2F065FF52 ,  2F065GG05 ,  2F065JJ01 ,  2F065LL10 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL35 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ51