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J-GLOBAL ID：200903069206780750

走査形顕微鏡

Inventor： 福原 悟 ,  戸所 秀男
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992186550
Publication number (International publication number)：1994036726
Application date： Jul. 14, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】本発明は荷電粒子線または光を用いて、試料上を走査しながら照射することで走査像を得る走査形顕微鏡に関係し、試料上任意の範囲を一度の走査で合焦点の走査像を得ることができ、かつその範囲内の走査像の高倍像を再度の走査を実施することなしに、高分解能で提供できる走査形顕微鏡を実現する。【構成】荷電粒子線または光を対物レンズにより収束し、試料上を照射しながら走査し、二次元走査像を得る走査形顕微鏡の構成に、該荷電粒子線又は光の走査領域と同じ領域の凹凸情報を記憶するメモリ、その凹凸情報によって、対物レンズの焦点位置を制御できる構成、そして、得られた二次の荷電粒子又は光の信号を表示又は記憶できる大容量メモリから構成される。

Claim (excerpt)：

荷電粒子線または光を収束する収束手段と収束した該荷電粒子線又は光を試料上を走査する手段と、該荷電粒子線または光により該試料から二次的に発生した荷電粒子または光を検知する手段と、該試料上を走査する領域の試料の高さ情報を検知する手段と、各走査画素あるいは数個の走査画素間で、高さ情報検知手段でえた情報に基づいて、対物レンズの焦点位置を制御する手段、該試料上を走査した領域を走査像として表示あるいは、記憶する手段とを具備したことを特徴とする走査形顕微鏡。

IPC (4)：

H01J 37/21 ,  G02B 7/28 ,  G02B 21/00 ,  H01J 37/28