Pat
J-GLOBAL ID：200903069244650754
基板搬送装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小野 由己男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994306309
Publication number (International publication number)：1996162516
Application date： Dec. 09, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：
【要約】【目的】 簡単な機構で伸縮方向と直交する方向の揺れを低減した基板搬送装置を提供する。【構成】 基板搬送部4は、基板を支持して水平に伸縮する装置において、ハウジング37と、ハウジング37に回動可能に支持された第1水平アーム40と、第1水平アーム40に回動可能に連結された第2水平アーム41と、第2水平アーム41に回動可能に連結され、基板Wを下方から支持する基板保持部42と、ハウジング37に対して第1水平アーム40を回動させるY軸駆動モータYMと、第1及び水平アームとで4節クランク機構65を構成する第1及び第2ガイドリンク62,63と、第1及び第2水平アーム40,41とそれぞれ平行に配置された第1及び第2姿勢保持リンク66,67と、第1及び第2姿勢保持リンク66,67を連結する連結リンク68とを備えている。
Claim (excerpt)：
基板を支持して第1方向に伸縮する基板搬送装置において、固定部材と、前記固定部材に回動可能に支持された第1回動アームと、前記第1回動アームに回動可能に連結された第2回動アームと、前記第2回動アームに回動可能に連結され、前記基板を下方から支持する基板支持部と、前記固定部材に対して前記第1回動アームを回動させる回動駆動手段と、その基端が前記固定部材に回動可能に連結され、前記第1回動アームと平行に配置された第1姿勢保持リンクと、その基端が前記第1姿勢保持リンクの先端に、その先端が前記基板支持部にそれぞれ回動可能に連結され、前記第2回動アームと平行に配置された第2姿勢保持リンクと、その一端が前記第1姿勢保持リンクと前記第2姿勢保持リンクとの連結部に、その他端が前記第1回動アームと前記第2回動アームとの連結部にそれぞれ回動可能に連結された連結リンクと、その基端が前記固定部材に前記第1方向と交差する第2方向に移動自在に支持され、その中間部が前記第1回動アームの途中部に回動可能に連結された第1ガイドリンクと、その基端が前記第1ガイドリンクの先端に、その先端が前記第2回動アームの途中部にそれぞれ回動可能に連結された第2ガイドリンクと、を備えることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3)：
H01L 21/68
, B23P 19/00 302
, B65G 49/07
