Pat
J-GLOBAL ID：200903069251540166

薄膜アクチュエーテッドミラーのアレイ及びその製造方法

Inventor：
リム ヨン ゲウン

About リム ヨン ゲウン


Applicant, Patent owner：
テーウー エレクトロニクス カンパニー リミテッド

About テーウー エレクトロニクス カンパニー リミテッド


Agent (1)： 杉村 暁秀 (外6名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997527501
Publication number (International publication number)：1999503538
Application date： Apr. 08, 1996
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：
【要約】基板(212)、M×N個の接続端子(214)のアレイ、M×N個のトランジスタのアレイを有する能動マトリックス(210)と、M×N個のコンジット(225)と、弾性部(235)、第2薄膜電極(245)、電気的に変形可能な薄膜部(255)及び第1薄膜電極(265)を有するMxN個の駆動構造体(341)のアレイと、予め定められた厚み及び特定の屈折率を有する誘電体薄膜部(401)が多層に積層されるM×N個の多層積層体(400)とを含むことを特徴とし、第2薄膜電極(245)が各薄膜アクチュエーテッドミラーにおいて信号電極として作用し、第1薄膜電極(265)が接地されて、各薄膜アクチュエーテッドミラーにおいてミラーとしてだけでなくバイアス電極としても作用する。
Claim (excerpt)：
光投射システムに用いられるM×N(M、Nは正の整数)個の薄膜アクチュエーテッドミラーのアレイであって、 基板、各々がM×N個のトランジスタのアレイの対応するトランジスタに電気的に接続されるM×N個の接続端子のアレイ、及びM×N個のトランジスタのアレイを有する能動マトリックスと、 各々が導電性物質からなるM×N個のコンジットと、 各々が接続部分及び光反射部分からなり、弾性部、第2薄膜電極、電気的に変形可能な薄膜部及び第1薄膜電極を有するMxN個の駆動構造体のアレイと、 各々が前記各駆動構造体の前記光反射部分上に位置し、予め定められた厚み及び特定の屈折率を有する誘電体薄膜部が多層に積層されたM×N個の多層積層体とを具え、 前記各コンジットが前記各駆動構造体の前記接続部分に位置し、前記第2薄膜電極の下部から対応するトランジスタに電気的に接続された前記接続端子の上部まで延在して、前記第2薄膜電極が前記各薄膜アクチュエーテッドミラーにおいて信号電極として作用するようにし、導電性及び反射性物質からなる前記第1薄膜電極が接地されることによって、前記第1薄膜電極が前記各薄膜アクチュエーテッドミラーにおいてミラーとしてだけでなくバイアス電極としても作用するようにすることを特徴とするM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ。
IPC (3)：
G02B 26/08 ,  H04N 5/74 ,  H04N 9/31
FI (3)：
G02B 26/08 E ,  H04N 5/74 B ,  H04N 9/31 C
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM