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J-GLOBAL ID：200903069256835989

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム

Inventor： 川口 卓
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994127185
Publication number (International publication number)：1995333846
Application date： Jun. 09, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】 凹凸への追従性良好で、埋込部の現像性を向上させた感光性樹脂組成物。【構成】 ポリマーとして低分子量ポリマー/高分子量ポリマーをブレンドして用い、モノマーとしてポリプロピレングリコールジアクリレートを用いることにより、70μmの凹凸に追従し、しかもその部分の最少現像時間が35〜40秒程度で更にレジスト形状も良好となる感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)カルボキシル基含有ポリマー、(B)重合可能な二重結合を分子内に少なくとも2個以上持つ化合物及び(C)光重合開始剤を含有し、前記(A)成分に数平均分子量5,000〜20,000、重量平均分子量20,000〜50,000、分散度1.5〜3.0の成分(A-1)及び数平均分子量20,000〜80,000、重量平均分子量70,000〜160,000、分散度1.5〜3.0の成分(A-2)を含み、かつ成分(A-1)の配合量が成分(A-2)の配合量より多く、前記(B)成分にポリプロピレングリコールジアクリレートを含む感光性樹脂組成物。

IPC (8)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18 ,  H05K 3/24

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特開平4-353849
  

Cited by examiner (1)

• 特開平4-353849