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J-GLOBAL ID：200903069261686827
表面欠陥検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小野寺 洋二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993009941
Publication number (International publication number)：1994221836
Application date： Jan. 25, 1993
Publication date： Aug. 12, 1994
Summary：
【要約】【目的】 閾値基準信号からラインセンサの受光素子方向と垂直方向に連続して発生した帯状欠陥を抽出する。【構成】 閾値基準信号測定装置60により被検査体全面の平均光量分布信号(閾値基準信号)が生成される。この平均光量分布信号は、演算装置70により2階微分処理が行なわれ、光学系による光量分布を解消し、幅10mm以上の低周波数の欠陥部分の信号成分のみを強調して残し、閾値法により一定閾値による欠陥抽出が行われて、欠陥検出信号80が得られる。【効果】 ラインセンサの受光素子方向と垂直方向に連続して発生した帯状の周波数の低い欠陥が抽出できる。
Claim (excerpt)：
基材の表面に被覆された表面層を有する円筒状の被検査体をその軸回りに回転させ、上記表面層の表面に上記軸方向と平行な帯状光を投射し、上記表面層の表面から反射する散乱光をラインセンサを備えた受光器で受光して上記被検査体の表面欠陥を検査する表面欠陥検査装置において、前記被検査体の表面層の表面に前記帯状光を照射する光照射装置と、前記表面からの前記帯状光の散乱光の反射光量を検出する多数の受光素子が直線的に配置されたラインセンサを有する受光器と、前記受光器の出力信号を前記垂直方向に時間平均する閾値基準信号測定装置と、上記閾値基準信号測定装置で生成した閾値基準信号を2階微分して欠陥部分を一定閾値値で抽出する演算装置と、前記受光器と前記被検査体とを前記ラインセンサの受光素子が列設された方向に対して直交する方向に相対的に移動させる移動装置とを備え、前記被検査体の前記受光器のラインセンサを構成する受光素子列設方向と直交する方向に連続して存在する帯状欠陥を検出することを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (3)：
G01B 11/30
, G01N 21/88
, G03G 5/10
