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J-GLOBAL ID：200903069263973220

プラスチック製回折格子の反射防止膜

Inventor： 新田 佳樹 ,  秋元 文二 ,  三田村 宣明 ,  池田 浩 ,  川俣 健 ,  徳田 一成 ,  豊原 延好 ,  生水 利明
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994123085
Publication number (International publication number)：1995306303
Application date： May. 11, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 従来の成膜装置を用いて、生産性良く、充分な密着性を確保して、回折効率低下のないプラスチック製回折格子の反射防止膜を提供する。【構成】 プラスチック製回折格子の基板上に形成した多層反射防止膜であって、基板側から第1層目を光学的膜厚ndが2nm以上のSi酸化物とし、第2層目以降にMoO3 またはWO3 を少なくとも含む層を1層以上含むように構成する。MoO3 、WO3 はSi酸化物と密着性が良い。また、MoO3 、WO3 を基板に真空蒸着するとき、蒸発源からの輻射熱が少なく格子面への熱ダメージがなくなる。

Claim (excerpt)：

MoO3 またはWO3 の少なくともいずれか一方の物質を含む層を、少なくとも1層含むことを特徴とするプラスチック製回折格子の反射防止膜。

IPC (2)：

G02B 1/11 ,  G02B 5/18