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J-GLOBAL ID：200903069271431673
不純物認識装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991320396
Publication number (International publication number)：1993157704
Application date： Dec. 04, 1991
Publication date： Jun. 25, 1993
Summary：
【要約】【目的】本発明は、被検査試料の光強度によらず、色データにより不純物の正確な検査ができると共に、検査者に対する負担を大幅に軽減することにある。【構成】顕微鏡1のステージにセットされた被検査試料の拡大像を撮像するカラーTVカメラ2と、このTVカメラで撮像された画像データを取込む画像入力装置3と、この画像入力装置3より入力される画像データをもとに不純物の全色成分の合計値に対して個々の不純物の色成分が占める割合を求めるコンピュータ4と、このコンピュータ4で求められた個々の色成分の割合に対する許容値の範囲を設定する設定器5と、前記演算部で求められた不純物の個々の色成分の割合が設定器5で設定された許容値の範囲内にあるか否かにより不純物の有無を判定し、これを2値化処理して不純物を表示するCRTディスプレイ6とを備えている。
Claim (excerpt)：
顕微鏡のステージにセットされた被検査試料の拡大像を撮像するカラーTVカメラと、このカラーTVカメラで撮像された画像データを取込む画像入力装置と、この画像入力装置より入力される画像データをもとに不純物の全色成分の合計値に対する個々の色成分が占める割合を求める演算部と、この演算部で求められた不純物の個々の色成分の割合に対する許容値の範囲を設定する設定手段と、前記演算部で求められた個々の不純物の色成分の割合が前記設定手段で設定された許容値の範囲内にあるか否かにより不純物の有無を判定する判定手段と、この判定手段での判定結果を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする不純物認識装置。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G06F 15/62 400
, H04N 7/18
