粒子-光学装置におけるレンズ欠陥補正用の補正デバイス

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東忠彦
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1999530480
Publication number (International publication number)：2002516026
Application date： Dec. 10, 1998
Publication date： May. 28, 2002
Summary：

【要約】電子-光学回転対称レンズは、しばしば解像度に制限を課す球面及び色収差の問題が避けられない。上記レンズの欠陥は、回転対称場による補正により排除することができない。にもかかわらず、解像度を向上させるために、二つのヘキサポール(24、26)と二つの回転対称伝送レンズシステム(28,30)を有する補正デバイスにより、球面収差を補正することがすでに提案された。周知の補正デバイスにおける各伝送レンズシステムは、二つのレンズから成る。本発明によれば、一つ又は両方の伝送レンズシステムは、補正能力が減少又はほとんど減少することなしに、四つの四重極(48、50,52,54)の夫々のシステム(46)により交換できる。さらに補正デバイス(22)の一部を形成する四重極システム(46)の二つの中央四重極(50、52)が、電気四重極場を発生させるように配置されたなら、補正されるべきレンズの色収差も補正可能である。

Claim (excerpt)：

装置において粒子ビームにより照射されるべき対象を照射するように装置の光軸に沿って移動する電荷を帯びた粒子のビームを発生させる粒子源と、電荷を帯びた粒子のビームを集束させる集束レンズと、少なくとも二つのヘキサポールを有し、一方のヘキサポールを他方のヘキサポール上に像を写すように第一の像伝送システムをヘキサポール間に配置させた補正ユニットを含み、集束レンズのコマのない平面を補正ユニットの入口上に像を写すための第二の伝送システムをさらに含む集束レンズ欠陥補正用の補正デバイスとを含む粒子-光学装置であって、第一の伝送システムは実質的に同等な四重極強度を有する少なくとも四つの四重極から成り、隣接四重極の四重極効果は夫々相互に垂直な関係にあることを特徴とする装置。

FI (2)：

H01J 37/153 B , H01J 37/153 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平3-295140
荷電ビーム用レンズ構体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-140600 Applicant：工業技術院長, 日本電子テクニクス株式会社, 日本電子株式会社
特開昭64-050349

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

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