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J-GLOBAL ID：200903069302375050

センサー

Inventor： 久保田 智之
Applicant, Patent owner： 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 石島 茂男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995178203
Publication number (International publication number)：1997005354
Application date： Jun. 21, 1995
Publication date： Jan. 10, 1997
Summary：

【要約】【目的】 小型、高性能の角速度センサーと加速度センサーを提供する。【構成】 角速度センサー12の有する電極部材10に第1及び第2の可動電極8a、8bを設け、本体33に第1及び第2の駆動電極9a、9bを設け、前記第1及び第2の可動電極8a、8bを振動させ、コリオリの力によって前記可動電極8aと前記駆動電極9aとで構成するキャパシタンスと前記可動電極8bと前記駆動電極8bとで構成されるキャパシタンスを変化させ、2つのキャパシタンスの差から角速度を求める。温度変動の影響が少ない測定を行うことができる。なお、コリオリの力が加わっていないときのキャパシタンスとの差から角速度を求めてもよい。また、マス部の大きさが異なり、感度の異なるセンサー本体を複数個一つの基板上に設けて加速度センサーを構成することもできる。

Claim (excerpt)：

第1の面上に設けられた第1の固定電極と、第2の面上に設けられた第2の固定電極とを有する本体と、前記第1及び第2の固定電極にそれぞれ対向する第1及び第2の可動電極を有する電極部材と、前記第1の可動電極を振動させる振動手段と、前記第1の可動電極の振動時に、前記第2の固定電極と前記第2の可動電極とによって構成されるキャパシタンスを検出する検出手段とを備えた角速度センサー。

IPC (3)：

G01P 15/125 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (3)：

G01P 15/125 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04