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J-GLOBAL ID：200903069363265958
浮上搬送装置用の気体噴出構造
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998289111
Publication number (International publication number)：2000118712
Application date： Oct. 12, 1998
Publication date： Apr. 25, 2000
Summary：
【要約】【課題】 搬送板を構成する封止板の変形などを防ぐことができる浮上搬送装置用の気体噴出構造を提供する。【解決手段】 封止板2が流路形成部分2Aと封止部分2Bとを備え、流路形成部分2Aは、上面を加工板1の下面に取り付けられ、噴出方向に応じてグループ化された噴出部(噴出孔1A,1Bとその気体室)に対して供給系からの気体を流すための供給穴をそれぞれ備え、封止部分2Bは、流路形成部分2Aの下面を覆うようにこの流路形成部分2Aに取り付けられている。
Claim (excerpt)：
搬送面から噴出する気体で板状基体を浮上させる搬送板と、この搬送板に気体を供給する供給系とを備え、前記搬送板が加工板と封止板とを備え、前記加工板が、下面から供給された気体を上面である搬送面から噴出する複数の噴出部を備え、前記封止板が前記加工板の下面に取り付けられた浮上搬送装置用の気体噴出構造において、前記封止板が流路形成部分と封止部分とを備え、前記流路形成部分は、上面を前記加工板の下面に取り付けられ、噴出方向に応じてグループ化された前記噴出部に対して前記供給系からの気体を流すための供給穴をそれぞれ備え、前記封止部分は、前記流路形成部分の下面を覆うようにこの流路形成部分に取り付けられたことを特徴とする浮上搬送装置用の気体噴出構造。
IPC (4)：
B65G 49/07
, B65G 49/06
, B65G 51/03
, H01L 21/68
B65G 49/07 J
, B65G 49/06 Z
, B65G 51/03 D
, H01L 21/68 A
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031GA63
Cited by examiner (5)
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