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J-GLOBAL ID：200903069384411440

光導波路素子

Inventor： 岡本 和也 ,  岩崎 豊
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996064559
Publication number (International publication number)：1997258123
Application date： Mar. 21, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】回折格子を用いながら、任意の角度に出射光を取り出すことのできる光導波路素子を提供する。【解決手段】導波路12上に、空間をあけて、回折格子状に加工された膜部材11を導波路12に対向させて配置し、空間の間隔h1を変化させる。これにより、導波路12を伝搬してきた光15を膜部材11を通して出射する角度を、任意の角度に設定することができる。導波路12と膜部材11との間隔を変化させるために、膜部材11と導波路12との間に電圧を印加し、静電引力を有し、これにより膜部材を撓ませることができる。

Claim (excerpt)：

光導波路と、回折格子形状に加工された可撓性の膜部材と、前記光導波路上に空間をあけて前記膜部材を支持する支持部材と、前記膜部材を前記光導波路の方に撓ませるために、前記光導波路と膜部材との間にバイアスを印加するバイアス印加部とを有し、前記光導波路の導波光界分布の一部は、前記膜部材が支持されている側の空間に存在し、前記バイアス印加部は、印加するバイアスの大きさを調節可能であることを特徴とする光導波路素子。

IPC (3)：

G02B 26/08 ,  G02B 6/12 ,  G02F 1/295

FI (3)：

G02B 26/08 J ,  G02F 1/295 ,  G02B 6/12 H