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J-GLOBAL ID：200903069409426390

ドライエッチング方法およびその装置

Inventor： 高山 和久
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 清水 守 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991288377
Publication number (International publication number)：1993251396
Application date： Nov. 05, 1991
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】 受光窓部の透過率の低下に伴う発光スペクトル強度の低下を補償して、高精度のエッチング終点判定を行う。【構成】 エッチングの終点判定を発光スペクトル強度の変化により行う方法および装置において、光源11よりエッチング装置のチャンバ1内に光検出用の窓部を通過するように光を照射して、その透過光の強度を検出し、その光強度から発光スペクトル強度増幅の増幅率の変更等により、発光スペクトルの発光強度の検出出力の低下を補正する。

Claim (excerpt)：

(a)エッチング時に生じる発光スペクトルの発光強度を光検出器により検出してエッチングの終点判定を行う手段と、(b)前記発光スペクトルの発光強度の検出出力の低下を補正する補正手段を具備することを特徴とするドライエッチング装置。

IPC (2)：

H01L 21/302 ,  G01J 3/443

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-208218
  
• 特開平2-224232
  
• 特開昭61-097554
  
• 特開昭60-148120