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J-GLOBAL ID：200903069425948984

表面弾性波素子

Inventor： 岸田 和人
Applicant, Patent owner： 株式会社ケンウッド
Agent (1)： 垣内 勇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997090307
Publication number (International publication number)：1998270974
Application date： Mar. 25, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】表面弾性波(SAW)フィルタの基本設計を変更することなく、しかも周波数特性を劣化させることなくチップ寸法を小型化することができる表面弾性波素子を提供することにある。【解決手段】表面弾性波素子におけるIDT電極の電極間の基板表面をエッチング加工することにより溝A6を設け、見かけ上伝播速度を小さくすることによりチップ寸法を小型化した。

Claim (excerpt)：

表面弾性波素子におけるIDT電極の電極間の基板表面をエッチング加工することにより溝を設けて見かけ上伝播速度を小さくすることによりチップ寸法を小型化したことを特徴とする表面弾性波素子。

IPC (3)：

H03H 9/145 ,  H01L 41/09 ,  H03H 9/25

FI (3)：

H03H 9/145 C ,  H03H 9/25 Z ,  H01L 41/08 C