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J-GLOBAL ID：200903069434604007

露光装置

Inventor： 加藤 正紀
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 宮川 貞二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997017647
Publication number (International publication number)：1998208990
Application date： Jan. 17, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】 装置内の経時的なドリフトが位置合わせに与える影響を排除する。【解決手段】 基板ステージ上の基準マーク141と、基板位置を検出する第1の検出系と、基準マークと原版マークとの相対位置を検出する第2の検出系と、固定マーク401と、基準マークと固定マークとの相対位置を検出する第3の検出系と、第3の検出系による相対位置に関する情報に基づいて第1の検出系の検出信号と第2の検出系の検出信号を補正する信号補正系と、原版と投影光学系との間の露光光路中に設けられた平行平面板501と、露光光路外に設けられた光路分割面または光路合成面の境界面413を有する光学部材412とを備え、光学部材と投影光学系との合成系は、原版マークと基準マークとを光学的に共役にすると共に、固定マークと基準マークとを光学的に共役にし、平行平面板と投影光学系との合成系は、原版の露光用パターン領域と感光性基板の露光面とを光学的に共役にする投影露光装置。

Claim (excerpt)：

所定の露光用パターンが形成された原版を露光光によって照明する露光用照明系と、該露光用照明系によって照明された前記原版上の露光用パターンの像を感光性基板上に形成する投影光学系とを備え、前記原版上の露光用パターンを前記感光性基板上に露光する露光装置において;前記感光性基板を載置すると共に前記投影光学系の像面に沿って移動する基板ステージと;前記基板ステージに設けられた基準マークと;前記感光性基板の位置を検出すると共に前記基準マークに対する位置を検出する第1の位置検出系と;前記投影光学系を通ると共に前記基準マークと前記原版との間に形成される検出光路を介して、前記基準マークと前記原版上に形成された原版マークとの相対位置を光学的に検出する第2の位置検出系と;パターンの投影のために前記原版が載置される位置と投影光学系との間に固設された固定マークと;前記投影光学系を通ると共に前記基準マークと前記固定マークとの間に形成される検出光路を介して、前記基準マークと前記固定マークとの相対位置を光学的に検出する第3の位置検出系と;前記第3の位置検出系にて得られる前記基準マークと前記固定マークとの相対位置に関する情報に基づいて、前記第1の位置検出系から出力される基準マークと感光性基板との相対位置に関する第1の基準マーク検出信号と、前記第2の位置検出系から出力される前記基準マークと前記原版マークとの相対位置に関する第2の基準マーク検出信号との少なくとも一方を補正する信号補正系と;前記原版が載置される位置と前記投影光学系との間、または前記投影光学系と前記基板ステージとの間のいずれかの露光光路中に設けられた平行平面板と;前記原版が載置される位置と前記投影光学系との間の露光光路外に設けられた光路分割面または光路合成面の境界面を有する光学部材とを備え;前記光学部材は、前記境界面と前記基準マークとの間では前記第2の位置検出系の検出光路と前記第3の位置検出系の検出光路とが共用する検出光路を形成すると共に、前記境界面と前記原版マークとの間では前記第2の位置検出系の専用検出光路を形成し、さらに前記境界面と前記固定マークとの間では前記第3の位置検出系の専用検出光路を形成し;前記光学部材と前記投影光学系との合成系は、前記原版マークと前記基準マークとを光学的に共役にすると共に、前記固定マークと前記基準マークとを光学的に共役にし;前記平行平面板と前記投影光学系との合成系は、前記原版の露光用パターン領域と前記感光性基板の露光面とを光学的に共役にすることを特徴とする、露光装置。