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J-GLOBAL ID：200903069439024475

酸化タンタル膜気相成長用材料

Inventor： 鈴木 俊行 ,  黒木 正美 ,  中村 紘一
Applicant, Patent owner： 株式会社ジャパンエナジー
Agent (1)： 小松 秀岳 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996218781
Publication number (International publication number)：1997121027
Application date： Nov. 25, 1991
Publication date： May. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】 パーティクルの発生が少なく、平滑性に優れ、後工程での微細加工に支障をきたすことのない酸化タンタル膜の形成材料を提供すること。【解決手段】 塩素元素を10ppm以下とした高純度タンタルアルコキシドを酸化タンタル膜気相成長用材料とする。

Claim (excerpt)：

塩素元素を10ppm以下にした高純度タンタルアルコキシドからなる酸化タンタル膜気相成長用材料。

IPC (6)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  C07F 9/00 ,  C23C 16/40 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/316

FI (5)：

H01L 27/04 C ,  C07F 9/00 Z ,  C23C 16/40 ,  H01L 21/31 B ,  H01L 21/316 X

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平3-028334