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J-GLOBAL ID：200903069452322973

被加工物用保持剤およびそれを用いた被加工物の脱着方法

Inventor： 谷 直幸 ,  笠崎 敏明 ,  河原 伸一郎 ,  安藤 卓史 ,  山本 正芳
Applicant, Patent owner： ニッタ株式会社
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998263751
Publication number (International publication number)：2000087004
Application date： Sep. 17, 1998
Publication date： Mar. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】被加工物を研磨時には高精度にしかも安定的に研磨機定盤に粘着固定し、研磨機定盤から剥離する際には容易に剥離ならしめ、しかも従来の有機溶剤や界面活性剤による洗浄を必要としない被加工物用保持剤および保持剤を用いた被加工物の脱着方法を提供すること。【解決手段】約15°Cより狭い温度範囲にわたって起こる融点を持つ側鎖結晶化可能ポリマーと、感圧接着剤とを有する接着剤組成物から形成され、ポリマーが接着剤組成物中に1〜30重量%され、側鎖結晶化可能ポリマーが、炭素数16以上の直鎖状アルキル基を側鎖とするアクリル酸エステル及び/又はメタクリル酸エステルを主成分とする被加工物用保持剤。

Claim (excerpt)：

感圧接着剤と、1〜30重量%の側鎖結晶化可能ポリマーとを含有する接着剤組成物から形成される被加工物用保持剤であって、該側鎖結晶化可能ポリマーが、炭素数16以上の直鎖状アルキル基を側鎖とするアクリル酸エステル及び/又はメタクリル酸エステルを主成分とすることを特徴とする被加工物用保持剤。

IPC (5)：

C09J201/00 ,  B24B 37/04 ,  C09J 5/00 ,  C09J 7/02 ,  H01L 21/304 622

FI (5)：

C09J201/00 ,  B24B 37/04 J ,  C09J 5/00 ,  C09J 7/02 ,  H01L 21/304 622 J

F-Term (44)：

3C058AB04 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01 ,  3C058CB10 ,  3C058DA17 ,  4J004AA02 ,  4J004AA04 ,  4J004AA05 ,  4J004AA07 ,  4J004AA08 ,  4J004AA10 ,  4J004AA15 ,  4J004AB01 ,  4J004AB03 ,  4J004CA06 ,  4J004CC02 ,  4J004EA05 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  4J040BA202 ,  4J040CA011 ,  4J040CA051 ,  4J040CA081 ,  4J040CA101 ,  4J040DA141 ,  4J040DD051 ,  4J040DE021 ,  4J040DF041 ,  4J040DF042 ,  4J040DF052 ,  4J040DF061 ,  4J040DF102 ,  4J040DM011 ,  4J040DN032 ,  4J040DN072 ,  4J040EL012 ,  4J040JA03 ,  4J040JB09 ,  4J040KA26 ,  4J040LA01 ,  4J040LA06 ,  4J040LA08 ,  4J040MA05 ,  4J040NA20