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J-GLOBAL ID：200903069473972684

探針走査型顕微鏡用探針の製造方法

Inventor： 任田 隆夫 ,  加道 博行 ,  柴田 元司
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 松田 正道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992098215
Publication number (International publication number)：1993299014
Application date： Apr. 17, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 急峻な凹凸形状等を精度良く測定するための、先端曲率半径や先端角の小さな探針走査型顕微鏡用探針の製造方法を提供することを目的とする。【構成】 シリコン基板3を陽極とし、導電性電極を陰極2として、フッ化水素酸を含む電解液6中で電気分解することにより、シリコン基板3に微細孔を形成した後、シリコン基板3を鋳型として用いて、微細孔を含むシリコン基板3上にSi3N4薄膜を形成し、その後、シリコン基板3をエッチング除去することにより、Si3N4薄膜に探針を形成する。

Claim (excerpt)：

シリコンを陽極とし、導電性電極を陰極として、電気分解することにより前記シリコンに微細孔を形成した後、前記シリコンを鋳型として用いて、少なくとも前記微細孔を含む前記シリコン上にシリコン以外の物質を形成し、その後、前記微細孔が形成された前記シリコンをエッチング除去することにより、前記形成された物質の突起物を作成することを特徴とする探針走査型顕微鏡用探針の製造方法。

IPC (4)：

H01J 9/14 ,  G01B 7/34 ,  H01J 37/28 ,  C30B 25/02