Pat
J-GLOBAL ID：200903069481090038
静電容量式湿度センサおよび湿度測定装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
酒井 伸司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000058071
Publication number (International publication number)：2001249099
Application date： Mar. 03, 2000
Publication date： Sep. 14, 2001
Summary：
【要約】【課題】 湿度変化に対する追従性、耐環境性および耐久性に優れ、しかも、温度補正を必要とせずに正確な湿度測定が可能な静電容量式湿度センサを提供する。【解決手段】 下部電極3、親水基を有する有機化合物を用いた感湿膜4、および上部電極5を絶縁性基板2上に順次形成して構成された静電容量式湿度センサ1において、感湿膜4は、フッ素系有機化合物を主成分として形成されている。
Claim (excerpt)：
下部電極、親水基を有する有機化合物を用いた感湿膜、および上部電極を絶縁性基板上に順次形成して構成された静電容量式湿度センサにおいて、前記感湿膜は、フッ素系有機化合物を主成分として形成されていることを特徴とする静電容量式湿度センサ。
F-Term (10)：
2G060AA01
, 2G060AB02
, 2G060AE19
, 2G060AF10
, 2G060AG11
, 2G060BA09
, 2G060BB10
, 2G060HA02
, 2G060HC13
, 2G060HC19
