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J-GLOBAL ID：200903069481252453
イオン源
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
成田 擴其
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991246488
Publication number (International publication number)：1993062606
Application date： Sep. 02, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】 イオン源を真空に保ったまま取外しを可能にすること。【構成】 イオン源チェンバ1のビ-ム引出し部にゲ-トバルブ部11を設け、ビ-ムダクト8に結合する。ゲ-トバルブ部のL字型の筐体12内に、ビ-ム引出し口3が形成された引出し用弁体17と、これと90度角度を異にして遮蔽用弁体(18)が設けられている。ビ-ム発生時、引出し用弁体を弁座16に配置する。イオン源のクリ-ニング時、引出し用弁体を収容部21内に引込み、遮蔽用弁体(18)を弁座に配置し、イオン源チェンバ内を真空状態に保ったままビ-ムダクトから取り外す。チェンバ内に溜った有毒物質は空気中に洩れず、空気が流入しないから発火反応も起こらない。
Claim (excerpt)：
ビ-ム引出し口部にゲ-トバルブ部を有し、チェンバを密閉可能に構成したことを特徴とするイオン源。
IPC (3)：
H01J 27/02
, H01J 37/08
, H05H 7/08
