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J-GLOBAL ID：200903069488059969

荷電粒子装置における試料回転装置

Inventor： 木村 淳
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998050113
Publication number (International publication number)：1999233054
Application date： Feb. 16, 1998
Publication date： Aug. 27, 1999
Summary：

【要約】【課題】 外部振動に対する影響をなくして高倍率での試料観察ができる荷電粒子ビーム装置における試料回転装置を提供すること。【解決手段】ホルダ保持部材の先端に試料ホルダを回転可能に取付け、ワイヤーを介して該試料ホルダを回転させるようにした電荷粒子ビーム装置の試料回転装置において、ワイヤーに一個又は複数個の除振部材を取付け、該除振部材がワイヤーの移動と共に移動しつつ常に前記ホルダ保持部材に接触するようにした。

Claim (excerpt)：

ホルダ保持部材の先端に試料ホルダを回転可能に取付け、ワイヤーを介して該試料ホルダを回転させるようにした電荷粒子ビーム装置の試料回転装置において、ワイヤーに一個又は複数個の除振部材を取付け、該除振部材がワイヤーの移動と共に移動しつつ常に前記ホルダ保持部材に接触するようにしたことを特徴とする電荷粒子ビーム装置の試料回転装置。