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J-GLOBAL ID：200903069518024243
凹凸欠陥検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995105702
Publication number (International publication number)：1996304048
Application date： Apr. 28, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：
【要約】【目的】被検査体表面の凹凸欠陥を光学的に増幅してテレビモニターに映し出すようにして容易に欠陥の有無及びその状態を観察できるようにすることにある。【構成】平行な照射光L0 を発する光源2と、CCDカメラ3と、再帰反射特性を有する反射板4とがそれぞれ定位置に配置され、前記光源2の射出光L0 を所定平面内に載置した被検査体1の表面で反射させて得られる第1反射光L1 を前記反射板4に入射して、それにより反射する第2反射光L2 を得た後、得られた該第2反射光L2 を前記被検査体1の表面で再度反射させて得られる第3反射光L3 を前記CCDカメラ3で検出する。
Claim (excerpt)：
平行な照射光L0 を発する光源2と、CCDカメラ3と、反射板4とがそれぞれ定位置に配置され、前記光源2の射出光L0 を所定平面内に載置した被検査体1の表面で反射させて得られる第1反射光L1 を前記反射板4に入射して、それにより反射する第2反射光L2 を得た後、得られた該第2反射光L2 を前記被検査体1の表面で再度反射させて得られる第3反射光L3 を前記CCDカメラ3で検出するようにしたことを特徴とする凹凸欠陥検査装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/30 C
, G01N 21/88 A
