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J-GLOBAL ID：200903069521261795

基板の保持装置

Inventor： 鳥海 正樹
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994295239
Publication number (International publication number)：1996153665
Application date： Nov. 29, 1994
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 この発明は基板にたわみが生じないよう、その基板を精度よく保持できるようにした基板の保持装置を提供することにある。【構成】 装置本体に保持機構を設け、この保持機構によって基板を保持する保持装置において、上記保持機構は、上記基板11の幅方向両側下面に弾性的に当接してこの基板を支持する下部可動突起9と、上記基板の上面の幅方向一端側の2点と他端側の2点のうちの1点とに当接して上記基板を上面を基準にして位置決め支持する上面基準固定ピン15と、この上面基準固定ピンによって位置決めされた上記基板の上面の幅方向他端側の残りの1点に弾性的に当接する上面基準可動ピン22とを具備したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

装置本体に保持機構を設け、この保持機構によって基板を保持する保持装置において、上記保持機構は、上記基板の幅方向両側下面に弾性的に当接してこの基板を支持する下部弾性支持手段と、上記基板の上面の幅方向一端側の2点と他端側の2点のうちの1点とに当接して上記基板を上面を基準にして位置決め支持する上部固定支持手段と、この上部固定支持手段によって位置決めされた上記基板の上面の幅方向他端側の残りの1点に弾性的に当接する上部弾性支持手段とを具備したことを特徴とする基板の保持装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  B23Q 3/06 301