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J-GLOBAL ID：200903069530254220

静電容量式センサ

Inventor： 近江 俊彦
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993139481
Publication number (International publication number)：1994323940
Application date： May. 17, 1993
Publication date： Nov. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 構造を簡略化し、作製プロセスを簡単にした静電力サーボ型の圧力センサを提供する。【構成】 単結晶シリコンウエハから異方性エッチングにより、ダイヤフラム4を揺動自在に支持させたフレーム3を作製する。ダイヤフラム4の中央には可動電極7を形成し、その外周には静電力発生用電極9を額縁状に形成する。別な単結晶シリコンウエハから、ダイヤフラム4がその厚さ方向に自由に微小変位できるように窪み11を設けたカバー2を作製する。窪み11の中央には、可動電極7と対向するように固定電極8を設け、その外周にダイヤフラム4の静電力発生用電極9と対向するように別な静電力発生用電極10を形成する。また、カバー2には、空気等の流体を導入する導入口5を設け、カバー2上面にフレーム3を低温接合技術等により接合して、圧力センサ1を作製する。

Claim (excerpt)：

検知部を支持基板に弾性的に支持させ、前記支持基板のいずれか一方の面に固定基板を接合し、前記検知部の内面に設けた可動電極と対向させて前記固定基板の内面に固定電極を設け、前記可動電極及び前記固定電極により検知用コンデンサを構成した静電容量式センサにおいて、前記検知用コンデンサの静電容量を一定容量に保持する静電力を発生させるための静電力発生用電極を前記検知部の内面に設け、前記検知部に設けた静電力発生用電極と対向させて固定基板の内面に対となる静電力発生用電極を設けたことを特徴とする静電容量式センサ。

IPC (2)：

G01L 9/12 ,  H01L 29/84