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J-GLOBAL ID：200903069530258322
斜入射干渉計装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
川野 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999049448
Publication number (International publication number)：2000249524
Application date： Feb. 26, 1999
Publication date： Sep. 14, 2000
Summary：
【要約】【目的】 干渉縞観察用光線束を逆進させる折り返しミラーを備えた斜入射干渉計装置において、干渉縞観察スクリーンとアライメントスクリーンとの間に所定の切換えミラーを設けることにより、干渉縞画像の観察とアライメント調整とを1台の観察カメラで行えるようにする。【構成】 第2回折格子14から斜め上方へ射出される物体光の0次回折光と参照光の-1次回折光との光干渉により生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーン18に形成させ、その干渉縞画像を観察カメラで撮像する構成とした上で、その結像光学系20を構成する結像レンズ22の像面側に、第2回折格子14から水平方向に射出される物体光の+1次回折光Bをスポット像として形成するアライメントスクリーン40を設ける。そして、干渉縞観察スクリーン18とアライメントスクリーン40との間に、干渉縞画像とスポット像とのいずれか一方を選択的に観察カメラに入射させる切換えミラー34を設ける。
Claim (excerpt)：
可干渉光を波面分割手段に入射させて2方向に波面分割し、一方の光線束を被検面に対して斜めに入射させてその反射光を物体光とするとともに他方の光線束を参照光とし、これら物体光および参照光を波面合成手段に入射させて波面合成し、この波面合成手段から同一方向に射出される前記物体光と前記参照光との光干渉により生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーンに形成させ、この干渉縞観察スクリーンに形成された干渉縞画像を観察カメラで撮像するように構成された斜入射干渉計装置において、前記干渉縞を前記干渉縞観察スクリーンに形成する結像光学系が、前記同一方向に射出される干渉縞観察用光線束を逆進させる折り返しミラーと、この折り返しミラーと前記波面合成手段との間に、前記被検面および前記折り返しミラーに第1および第2焦点を位置させるようにして設けられた結像レンズと、この結像レンズと前記波面合成手段との間に設けられ、前記折り返しミラーからの逆進光の少なくとも一部を偏向反射させるハーフミラーとを備えてなり、前記干渉縞観察スクリーンが、前記ハーフミラーからの偏向反射光路内における前記被検面と共役の位置に配置されており、前記結像レンズの像面側に、前記波面合成手段から前記干渉縞観察用光線束とは異なる方向に射出される前記物体光をスポット像として形成するアライメントスクリーンが設けられており、前記干渉縞観察スクリーンと前記アライメントスクリーンとの間に、前記干渉縞画像と前記スポット像とのいずれか一方を選択的に前記観察カメラに入射させる切換えミラーが設けられていることを特徴とする斜入射干渉計装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (26)：
2F064AA09
, 2F064BB07
, 2F064CC10
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064GG33
, 2F064GG38
, 2F064GG49
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F065AA45
, 2F065AA49
, 2F065BB13
, 2F065DD02
, 2F065FF51
, 2F065GG02
, 2F065HH03
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ14
, 2F065JJ26
, 2F065LL12
, 2F065LL32
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065LL42
