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J-GLOBAL ID：200903069546187662
パラレルリンク機構
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (2)：
鈴江 武彦 (外1名)
, 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993175414
Publication number (International publication number)：1996115128
Application date： Jul. 15, 1993
Publication date： May. 07, 1996
Summary：
【要約】【目的】ひずみゲージの貼付け作業が不要で、従来検出が困難であった可動板の位置・姿勢の検出を容易、適確に行なえるパラレルリンク機構を提供すること。【構成】各積層型圧電素子4 の一端部に固定したホルダ5 で前記圧電素子4 と平行に静電容量型変位計6 を保持し、前記圧電素子4 の他端部に、上記変位計6 の先端部と微小間隙で一部が対向する如くターゲット部材7 を固定し、前記圧電素子4 の伸縮動作に伴うリンクストロークの変化を検出する。互いに直交するx,y,zの三軸に各垂直な第1〜第3ターゲット面を有する可動板1 を設け、第1ターゲット面に対向する如くx軸と平行に2個の静電容量型変位計81,82 を取付け、第2ターゲット面に対向する如くy軸と平行に1個の変位計83を取付け、第3ターゲット面に対向する如くz軸と平行に3個の変位計84〜86を取り付け、リンクストローク変化に伴う可動板1 の位置、姿勢変化を検出する。
Claim (excerpt)：
リンクのストロークを積層型圧電素子からなるアクチュエータを用いて可変制御するようにしたパラレルリンク機構において、前記各リンクに設けた積層型圧電素子の一端部位に固定されたホルダと、このホルダによって前記積層型圧電素子と平行に保持された静電容量型変位計と、この静電容量型変位計の先端部と微小間隙をおいて一部が対向する如く前記積層型圧電素子の他端部位に固定されたターゲット部材と、を具備し、前記積層型圧電素子の伸縮動作に伴うリンクストロークの変化を検出するようにしたことを特徴とするパラレルリンク機構。
IPC (4)：
G05D 3/00
, G01N 37/00
, H01J 37/20
, H01L 41/09
Cited by examiner (10)
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