ダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石井陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998375445
Publication number (International publication number)：2000178737
Application date： Dec. 15, 1998
Publication date： Jun. 27, 2000
Summary：

【要約】【課題】金型、工具等のダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材において、母材とダイヤモンド状炭素膜との密着性を向上させ、その寿命を向上させる。【解決手段】母材とダイヤモンド状炭素膜との間に、周期表第5A族金属を主成分とする金属膜(母材側)とSiを主成分とするSi膜(ダイヤモンド状炭素膜側)の積層膜を中間層として介在させたダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材とする。

Claim (excerpt)：

母材上にダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材であって、母材上に周期表第5A族(5族)金属から選ばれる少なくとも1種を主成分とする金属膜を有し、この金属膜上にSiを主成分とするSi膜を有し、このSi膜上にダイヤモンド状炭素膜を有するダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材。

IPC (4)：

C23C 16/27 , B22C 3/00 , B32B 9/00 , C23C 14/06

FI (5)：

C23C 16/26 A , B22C 3/00 E , B32B 9/00 A , C23C 14/06 N , C23C 14/06 F

F-Term (42)：

4E092AA05 , 4E092AA09 , 4E092GA10 , 4F100AA37B , 4F100AB01C , 4F100AB11D , 4F100AB33C , 4F100AB33D , 4F100AT00A , 4F100BA04 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10B , 4F100EH66 , 4F100EH662 , 4F100GB90 , 4F100JK09 , 4F100JL00 , 4K029BA02 , 4K029BA16 , 4K029BA17 , 4K029BA34 , 4K029BA35 , 4K029BB02 , 4K029BC02 , 4K029BD05 , 4K029CA03 , 4K029CA05 , 4K029DC03 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA10 , 4K030BA17 , 4K030BA28 , 4K030BA29 , 4K030BA56 , 4K030BB12 , 4K030CA02 , 4K030FA01 , 4K030HA04 , 4K030LA01 , 4K030LA21

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

円筒状部材の内周面への被膜形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-272698 Applicant：シチズン時計株式会社

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