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J-GLOBAL ID：200903069558328393

電子顕微鏡

Inventor： 長沖 功 ,  小林 弘幸
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995247218
Publication number (International publication number)：1997092191
Application date： Sep. 26, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：

【要約】【課題】数百倍から数十万倍で高分解能の像観察が可能で観察性,操作性を著しく向上させる。【解決手段】対物レンズ2と、対物レンズ2の焦点距離を変えるため対物レンズ2のポールピース下側のヨークに形成された磁場を変えるための励磁コイルが設置された補助コイル16と、対物コイル15と、各結像レンズの励磁電源18〜23と、これらを制御するコンピュータとからなる。

Claim (excerpt)：

電子ビームを発生させる機構と、対物レンズと、前記電子ビームを結像する結像レンズ系を有する電子顕微鏡において、前記対物レンズのポールピース下側のヨークにギャップを設けて、前記ギャップの下側の前記ヨークの内部に励磁コイルが配置された補助レンズを設けたことを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/141 ,  H01J 37/10 ,  H01J 37/21

FI (3)：

H01J 37/141 A ,  H01J 37/10 ,  H01J 37/21 A