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J-GLOBAL ID：200903069581945758

レーザ高調波発生装置

Inventor： 菅沼 洋
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996036652
Publication number (International publication number)：1997230402
Application date： Feb. 23, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】 2波長の合成波の和周波合成を行わせる際に、和周波出力が効率よく得られるレーザ高調波発生装置を提供する。【解決手段】 レーザ発生部1と、mは自然数であるとして、上記レーザ発生部1の出力レーザ光の1倍波を供給するためのビームスプリッタ2及び反射鏡5と、非線形光学媒質を有するとともに、上記レーザ発生部1の出力レーザ光の4倍波を発生させるための2倍波発生部3及び4倍波発生部4と、上記反射鏡5からの1倍波と、上記4倍波発生部4からの4倍波とを合波するダイクロイックミラー7と、上記ダイクロイックミラー7からの上記1倍波と4倍波との合波光から5倍波を発生する非線形光学結晶素子9と、回折型レンズ11と屈折型レンズ12とを有するとともに、上記ダイクロイックミラー7からの合波光を上記非線形光学結晶素子9の中で収束させる色消しレンズ8とを備えたものである。

Claim (excerpt)：

レーザ発生手段と、mは自然数であるとして、上記レーザ発生手段の出力レーザ光のm倍波を供給するm倍波供給手段と、nは2以上の自然数であるとして、非線形光学媒質を有するとともに、上記レーザ発生手段の出力レーザ光の(n×m)倍波を発生させる(n×m)倍波発生手段と、上記m倍波供給手段からのm倍波と、上記(n×m)倍波発生手段からの(n×m)倍波とを合波するレーザ光合波手段と、上記レーザ光合波手段からの上記m倍波と(n×m)倍波との合波光から(m×(n+1))倍波を発生する(m×(n+1))倍波発生手段と、回折型レンズと屈折型レンズとを有するとともに、上記レーザ光合波手段からの合波光を上記(m×(n+1))倍波発生手段の中で収束させる光学系とを備えたレーザ高調波発生装置。

IPC (7)：

G02F 1/37 ,  G02B 5/18 ,  G02B 13/00 ,  G02B 27/10 ,  G11B 7/125 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 502

FI (8)：

G02F 1/37 ,  G02B 5/18 ,  G02B 13/00 ,  G02B 27/10 ,  G11B 7/125 A ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 527