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J-GLOBAL ID:200903069592075798

単結晶の育成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小平 進
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993253626
Publication number (International publication number):1995082088
Application date: Sep. 17, 1993
Publication date: Mar. 28, 1995
Summary:
【要約】【目的】 結晶育成中にクラックが発生することなく歩留りの向上を図ると共に、基板材料等としての加工のコストを安価にする。【構成】 EFG法による単結晶の育成方法であって、NdGaO3 を主成分とした原料融液を入れてあるルツボ1内にスリット3を設けた型4を入れ、そのスリットを通して上昇した型上面の融液2に種結晶5を付け、型上面の形状に合った結晶を育成する。
Claim (excerpt):
融液を入れてあるルツボ内にスリットを設けた型を入れ、上記スリットを通して上昇した型上面の融液に種結晶を付け、型上面の形状に合った結晶を育成する方法であるEFG(Edge-defined Film-fed Growth)法において、原料融液がNdGaO3 を主成分としたことを特徴とする単結晶の育成方法。
IPC (2):
C30B 29/24 ,  C30B 15/34
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平4-055396
  • 特開平4-097989

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