Pat

J-GLOBAL ID：200903069594130389

穴形状測定方法および測定装置

Inventor： 橋本 健 ,  井上 享 ,  服部 保次
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 石井 康夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995036510
Publication number (International publication number)：1996233545
Application date： Feb. 24, 1995
Publication date： Sep. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 比較的小径の穴形状を非接触かつ高精度で測定することができる穴形状測定方法および測定装置を提供する。【構成】 光源4から照射された光は、光軸5に沿ってフィルタ6、スリット7、投光対物レンズ8を通り、スリット7の像が小径穴1の壁面上に結像される。線状のスリット7は、紙面に垂直に開けらている。小径穴1の壁面により反射されたスリット光は、受光対物レンズ9により、カメラ10内の図示しない2次元撮像素子上に弧状の像として結像される。スリット光の像は、モニタ画面上で観察し、スリット光の結像位置と小径穴1の壁面上の測定面とが一致するように載物ステージ3の位置を調節する。

Claim (excerpt)：

スリット光を被測定位置に投影させる投光系を介して穴の壁面に投影させ、該壁面での反射光を受光系で受光位置に結像させ、該スリット光の光軸と該穴を相対的に移動させ、前記受光位置でのスリット光の弧の先端が該光軸に一致したとき、前記穴の位置を測定し、該測定を前記穴の直径の両端に対して行なうことにより前記穴の内径を測定することを特徴とする穴形状測定方法。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/12

FI (2)：

G01B 11/24 B ,  G01B 11/12 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 光学式測長装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-182549   Applicant：秋山伸幸, 株式会社第一測範製作所