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J-GLOBAL ID：200903069598237196
走査型トンネル顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
蔵合 正博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992015519
Publication number (International publication number)：1993209712
Application date： Jan. 30, 1992
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：
【要約】【目的】 走査用探針の最も鋭い部分が最も試料表面に近づくようにする。【構成】 探針101を保持したスリーブ102を回転させるモータ103と、スリーブ102をブラケット104,105を介して保持する円板106を回転させるモータ108とを探針保持台107に設け、探針101を回転および傾斜可能とすることにより、探針101の先端部分の最も鋭い部分を試料表面に対向させることができ、従来のような探針を交換する必要がなく、高分解能の表面凹凸像を得ることができる。
Claim (excerpt)：
試料表面に対する探針の角度を任意に変化させるための探針保持機構を備えた走査型トンネル顕微鏡。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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