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J-GLOBAL ID：200903069602554940

湿度センサ

Inventor：
近江 俊彦

About 近江 俊彦


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000005941
Publication number (International publication number)：2001194332
Application date： Jan. 07, 2000
Publication date： Jul. 19, 2001
Summary：
【要約】【課題】 半導体ICの表面を移動する過度的な電荷を検出する方式により、高感度で、通常のCMOSプロセスで製造可能な、安価、小型の湿度センサ提供すること。【解決手段】 一方の極板の電位がフロートである容量部と、前記容量部のフロート電位側の極板に接続してあり前記容量の電荷を基準値に戻すリセットスイッチと、前記容量部の近傍に配置されて前記容量部とは独立した電位をもつ電位部からなり、前記電位部を第1の電位から第2の電位に変化させたときに、前記電位部から前記容量部に過度的に移動する電荷を前記容量部に蓄積して出力する回路構成とした。
Claim (excerpt)：
一方の極板の電位がフロートである容量部と、前記容量部のフロート電位側の極板に接続してあり前記容量の電荷を基準値に戻すリセットスイッチと、前記容量部の近傍に配置されて前記容量部とは独立した電位をもつ電位部からなり、前記電位部を第1の電位から第2の電位に変化させたときに、前記電位部から前記容量部に過度的に移動する電荷を前記容量部に蓄積して出力することを特徴とする湿度センサ。
IPC (2)：
G01N 27/12 ,  G01N 27/00
FI (2)：
G01N 27/12 J ,  G01N 27/00 A
F-Term (23)：
2G046AA09 ,  2G046BA01 ,  2G046BB02 ,  2G046BF02 ,  2G046BF05 ,  2G046BH02 ,  2G046DA03 ,  2G046DC17 ,  2G046DC18 ,  2G046DD02 ,  2G046EB07 ,  2G046FB06 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF03 ,  2G060AF10 ,  2G060BA09 ,  2G060BB03 ,  2G060HA02 ,  2G060HC13 ,  2G060HE03 ,  2G060KA04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 特開昭56-112637
  • 高湿度気体中での湿度の測定方法及び装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-035364   Applicant：帝人エンジニアリング株式会社, 株式会社フローシステム
  • 湿度計
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-158456   Applicant：リコー精器株式会社
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