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J-GLOBAL ID：200903069636156030
顕微鏡の像ズレ補正装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993102130
Publication number (International publication number)：1994313850
Application date： Apr. 28, 1993
Publication date： Nov. 08, 1994
Summary：
【要約】【目的】標本の像ズレのない安定した状態でレーザーリペアが行えるレーザーリペア装置を提供することを目的とする。【構成】レーザーリペアを行う加工用特殊対物レンズ31と液晶板の不具合を発見するための対物レンズ32と、これらの対物レンズ及びその他の光学素子の切り換えによる検鏡視野の像ズレ量を予め記憶するCPU36と、このCPU36からの情報に基づきステージの移動量を制御するステージコントローラ38、ステージドライバ39、40、及びステージ駆動用モーター41、42とを備えた顕微鏡の像ズレ補正装置
Claim (excerpt)：
光路内に複数の光学素子が挿脱及び交換可能に設けられた顕微鏡装置において、各光学素子の挿脱または交換による検鏡視野のズレ量を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された各光学素子の挿脱または交換に対応する検鏡視野のズレ量を演算することによりステージ位置の補正移動を制御する制御手段と、を具備したことを特徴とする顕微鏡装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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