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J-GLOBAL ID：200903069648936015

表面画像を与えるプローブおよびその製造方法

Inventor： テレサ・ジェイ・ホプソン ,  ロナルド・エヌ・レッジ
Applicant, Patent owner： モトローラ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 大貫 進介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996318853
Publication number (International publication number)：1997145727
Application date： Nov. 13, 1996
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】 半導体デバイスの形状画像および熱画像を与えるべく形成されたプローブ10。【解決手段】 プローブ10は、熱電対接合部13を形成する材料11の第1リボンおよび材料12の第2リボンからなる。次に、プローブ先端15は、エポキシ14で熱電対接合部13に取り付けられる。本発明の別の実施例では、プローブ20は、熱電対接合部13の一部を曲げることによって形成されるポイント領域17を有し、ポイント領域17は伝熱材料で被覆される。光信号は、材料11の第1リボン,材料12の第2リボンまたは熱電対接合部13の平坦な部分から反射され、そのためプローブ10,20の移動は光検出器によって監視できる。

Claim (excerpt)：

表面画像を与えるプローブ(10)であって:材料(11)の第1リボンであって、材料(11)の前記第1リボンの少なくとも一部は第1の平坦な表面であり、前記第1の平坦な表面は反射性を有する、材料(11)の第1リボン;材料(11)の前記第1リボンとともに熱電対接合部(13)を形成する材料(12)の第2リボン;および前記熱電対接合部の少なくとも一部の下にあるプローブ先端(15);によって構成されることを特徴とするプローブ(10)。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01K 7/02

FI (3)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  G01K 7/02 Z