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J-GLOBAL ID：200903069654419596

接着シート並びに半導体装置及びその製造方法

Inventor： 川上 広幸 ,  稲田 禎一 ,  増子 崇 ,  大久保 恵介 ,  畠山 恵一 ,  柳川 俊之 ,  加藤木 茂樹
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (8)： 三好 秀和 ,  三好 保男 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  栗原 彰 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002246833
Publication number (International publication number)：2004043761
Application date： Aug. 27, 2002
Publication date： Feb. 12, 2004
Summary：

【課題】ダイシング工程ではダイシングテープとして作用し、半導体素子と支持部材との接合工程では接続信頼性に優れる接着シートとして作用する接着シートを提供する。【解決手段】粘接着剤層と基材層とを備え、前記粘接着剤層と前記基材層との間の接着力が放射線の照射により制御される接着シートであって、前記粘接着剤層は、(A1)放射線照射前の前記粘接着剤層と前記基材層界面の接着強度が200mN/cm以上であり、かつ、以下の特性のうち少なくとも一つの特性を有してなる接着シート。(B1)放射線照射前の160°Cにおけるフロー量が100〜10000μm、(B2)放射線照射前の160°Cにおける溶融粘度が50〜100000Pa・s【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

粘接着剤層と基材層とを備え、前記粘接着剤層と前記基材層との間の接着力が放射線の照射により制御される接着シートであって、 前記粘接着剤層は、(A1)放射線照射前の前記粘接着剤層と前記基材層界面の接着強度が200mN/cm以上であり、かつ、以下の特性のうち少なくとも一つの特性を有してなる接着シート。 (B1)放射線照射前の160°Cにおけるフロー量が100〜10000μm、(B2)放射線照射前の160°Cにおける溶融粘度が50〜100000Pa・s

IPC (5)：

C09J7/02 ,  B32B27/00 ,  C09J5/00 ,  C09J201/00 ,  H01L21/52

FI (5)：

C09J7/02 Z ,  B32B27/00 D ,  C09J5/00 ,  C09J201/00 ,  H01L21/52 E

F-Term (50)：

4F100AK33 ,  4F100AK42 ,  4F100AK49 ,  4F100AK53 ,  4F100AT00B ,  4F100BA02 ,  4F100BA07 ,  4F100CB00A ,  4F100CB05A ,  4F100EJ52A ,  4F100GB41 ,  4F100JA06A ,  4F100JK01A ,  4F100JK07A ,  4F100JL11A ,  4F100JL13A ,  4F100YY00A ,  4J004AA10 ,  4J004AA12 ,  4J004AA13 ,  4J004AA14 ,  4J004AB01 ,  4J004AB05 ,  4J004AB06 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004FA08 ,  4J040DF001 ,  4J040EB031 ,  4J040EB111 ,  4J040EB131 ,  4J040EC001 ,  4J040EC061 ,  4J040EC071 ,  4J040EF001 ,  4J040EH031 ,  4J040EK031 ,  4J040KA16 ,  4J040LA02 ,  4J040LA06 ,  4J040MA10 ,  4J040MA11 ,  4J040NA20 ,  4J040PA32 ,  5F047BA24 ,  5F047BA33 ,  5F047BB03 ,  5F047BB19

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 接着シート並びに半導体装置及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-246932   Applicant：日立化成工業株式会社
• 粘接着テープおよびその使用方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-045648   Applicant：リンテック株式会社
• 粘接着テープおよびその使用方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-256090   Applicant：リンテック株式会社
• 特開平2-032181
  
• 接着剤組成物及び接着性シート
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-253898   Applicant：東亞合成株式会社
• 半導体ウエハ加工用粘着シート
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-090171   Applicant：住友ベークライト株式会社