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J-GLOBAL ID：200903069658869170

表面弾性波素子

Inventor： 加藤 充明 ,  谷 俊彦 ,  斎藤 康善
Applicant, Patent owner： アイシン精機株式会社 ,  株式会社豊田中央研究所
Agent (1)： 桑原 英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996159198
Publication number (International publication number)：1997321564
Application date： May. 31, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ガラス基板に対する表面弾性波の伝搬損失の低減を図る。【解決手段】 ガラス基板1に対し脱アルカリ処理をなし、表面のナトリウム含有量を下げ、その上に圧電性膜2を生成する。

Claim (excerpt)：

ガラス基板上に生成された圧電性膜を有し、前記ガラス基板上または前記圧電性膜上に電極を設けて表面弾性波を発生させる表面弾性波素子において、前記ガラス基板に脱アルカリ処理を施したことを特徴とする表面弾性波素子。

IPC (3)：

H03H 3/08 ,  H01L 41/09 ,  H03H 9/25

FI (3)：

H03H 3/08 ,  H03H 9/25 C ,  H01L 41/08 C