Pat
J-GLOBAL ID：200903069660474736
除振台の制御装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992358662
Publication number (International publication number)：1994181158
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Jun. 28, 1994
Summary：
【要約】【目的】 位置センサを1個除去した場合にも除振台を適正に制御できるようにし、また、除振台に与えられる種々の揺れを的確に抑圧できるようにする。【構成】 第1〜第4支持脚で支持された除振台の第1〜第3支持脚よる支持部位での鉛直方向位置、および、第1〜第4支持脚部位での鉛直方向加速度に基づき各々独立に第1〜第3支持脚をサーボ制御し、一方、前記鉛直方向位置に基づき第4支持脚部位での鉛直方向位置を算出し、この結果と第4支持脚部位での鉛直方向加速度に基づき第4支持脚をサーボ制御する。あるいは、2以上の支持脚で支持された除振台の各支持部位での鉛直方向位置に基づく目標位置との偏差に基づき除振台の並進偏差と回転偏差を演算して各支持脚に再配分し、その結果と各支持部位での鉛直方向加速度に基き各支持脚をサーボ制御する。
Claim (excerpt)：
第1〜第4の4台の支持脚で4か所を支持された平板状の除振台を鉛直目標位置に定常偏差なく位置決めするための制御装置であって、前記第1〜第3の支持脚に対応して設けられ、それぞれ前記除振台の、前記各支持脚による支持部位での鉛直方向の位置を検出する第1〜第3の位置センサと、前記第1〜第4の支持脚に対応して設けられ、それぞれ前記除振台の、前記各支持脚による支持部位での鉛直方向の加速度を検出する第1〜第4の加速度センサと、対応する位置センサおよび加速度センサの出力に基づき各々独立に前記第1〜第3の支持脚による除振台支持位置の高さをサーボ制御する第1〜第3のフィードバック装置と、第1〜第3の位置センサの出力、またはこれらの出力を鉛直目標位置信号と比較して得られる第1〜第3の位置偏差出力に基づき、前記除振台の、前記第4の支持脚による支持部位での鉛直方向の位置または位置偏差を算出する演算手段と、該演算手段および前記第4の加速度センサの出力に基づいて前記第4の支持脚による除振台支持位置の高さをサーボ制御する第4のフィードバック装置とを具備することを特徴とする除振台の制御装置。
IPC (4)：
H01L 21/027
, F16F 15/02
, G05D 19/02
, H01L 21/68
H01L 21/30 301 Z
, H01L 21/30 311 L
