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J-GLOBAL ID:200903069680261569
ファブリペローフィルタ及び赤外線ガス分析計
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000030823
Publication number (International publication number):2001221913
Application date: Feb. 08, 2000
Publication date: Aug. 17, 2001
Summary:
【要約】【課題】 複数の波長を安定して選択することができるファブリペローフィルタを実現すること。【解決手段】 基板上に設けられた第一ミラーと、この第一ミラーとの間にギャップを有して対向配置され、外力が加えられることにより第一ミラーに対して変位可能に形成される第二ミラーと、この第二ミラーに外力を加えて変位させギャップを可変とした場合に、第二ミラーを静止させ、ギャップの長さを固定可能とする静止手段と、を具備したことを特徴とする。
Claim (excerpt):
基板上に設けられた第一ミラーと、この第一ミラーとの間にギャップを有して対向配置され、外力が加えられることにより前記第一ミラーに対して変位可能に形成された第二ミラーと、この第二ミラーに外力を加えて変位させ前記ギャップの長さを可変とした場合に、前記第二ミラーを静止させ、前記ギャップの長さを固定可能とする静止手段と、を具備したことを特徴とするファブリペローフィルタ。
IPC (5):
G02B 5/28
, G01J 1/02
, G01J 3/42
, G01N 21/35
, G01N 21/61
FI (5):
G02B 5/28
, G01J 1/02 C
, G01J 3/42 U
, G01N 21/35 Z
, G01N 21/61
F-Term (27):
2G020AA03
, 2G020BA02
, 2G020BA12
, 2G020CA02
, 2G020CC27
, 2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059CC04
, 2G059CC09
, 2G059EE01
, 2G059EE11
, 2G059FF10
, 2G059HH01
, 2G059JJ03
, 2G059KK03
, 2G059NN03
, 2G065AA04
, 2G065AB02
, 2G065AB23
, 2G065BA01
, 2G065BB27
, 2G065CA27
, 2G065DA08
, 2H048GA15
, 2H048GA21
, 2H048GA25
, 2H048GA61
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