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J-GLOBAL ID：200903069692145475

基板有無検出装置

Inventor： 木全 一夫 ,  馬場 寛次
Applicant, Patent owner： 株式会社メックス
Agent (1)： 飯田 昭夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998209501
Publication number (International publication number)：2000040733
Application date： Jul. 24, 1998
Publication date： Feb. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】 発光部及び受光部を昇降動作させる機構において機械要素間での接触等により発生するパーティクルによってクリーン度の高い作業環境が汚染されることを防止すること。【解決手段】 発光部9と発光部9を昇降動作させる発光部駆動装置10とを同一筐体11内に収納するとともに、受光部12と受光部12を発光部9の昇降動作に同期させて昇降動作させる受光部駆動装置13とを他の同一筐体14内に収容し、かつ、各筐体11、14において少なくとも発光部9と受光部12とが対向する部位を光透過体11a、14aにより構成し、発光部9が発した光が各筐体11、14の光透過体11a、14aを透過して受光部12で受光されるよう構成する。

Claim (excerpt)：

発光部と該発光部を昇降動作させる発光部駆動装置とを同一筐体内に収納するとともに、受光部と該受光部を前記発光部の昇降動作に同期させて昇降動作させる受光部駆動装置とを他の同一筐体内に収容し、かつ、前記各筐体において少なくとも前記発光部と前記受光部とが対向する部位を光透過体により構成し、前記発光部が発した光が前記各筐体の光透過体を透過して前記受光部で受光されるよう構成されることを特徴とする基板有無検出装置。

F-Term (3)：

5F031GG02 ,  5F031GG06 ,  5F031GG12