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J-GLOBAL ID：200903069714734143
アンローダ装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992143851
Publication number (International publication number)：1993330859
Application date： Jun. 04, 1992
Publication date： Dec. 14, 1993
Summary：
【要約】【目的】洗浄,PR工程の枚葉方式の装置で用いられるエアナイフ乾燥後アンローダ装置に搬入されカセットに納められる工程で発生する静電気による素子の破壊を防止する。【構成】カセット6に挿入される基板1に窒素3を吹きつけコロナ放電を利用し窒素3にイオンを発生させ基板1に吹き付けることにより静電気を除去する。
Claim (excerpt)：
ガラス基板を搬送するフォークと、前記ガラス基板を収納するカセットとを有するアンローダ装置において、前記カセットの挿入部に窒素を所定純度に調整するフィルタと、該フィルタの出口にコロナ放電により窒素イオンを発生させる針状の金属電極が挿入されたイオンバーとを設けたことを特徴とするアンローダ装置。
IPC (3)：
C03C 23/00
, G02F 1/13 101
, G02F 1/136 500
