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J-GLOBAL ID：200903069739776010
高さ測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992009633
Publication number (International publication number)：1993223533
Application date： Jan. 23, 1992
Publication date： Aug. 31, 1993
Summary：
【要約】【目的】半導体素子をガラス基板上に搭載した実使用状態で、リードの高さを正確に測定できる高さ測定装置を提供する。【構成】ガラス基板25上に搭載された半導体素子20のリード21にレーザ光を走査集光する。各リードでの反射光は第1及び第2のシリンドリカルレンズ7,8により1次元センサ7上に集められると共にリード高さに応じた位置に結像される。ガラス基板25の表面からの正反射光のほとんどは遮光板9上に照射するが、走査の端の部分からの正反射光は遮光板9の横を抜け1次元センサ7上にガラス基板上面の高さに応じて結像する。1次元センサ7上の結像位置に応じて得られる信号から各々の高さを求める高さ検出回路11とガラス基板上面からの高さ信号を基準として各々の高さを補正する高さ補正回路12によりガラス基板からのリードの高さを正確に測定できる。
Claim (excerpt)：
被測定物を載せる透明で平らなガラス基板と、レーザと、このレーザのレーザ光を一方向に回転走査するミラーと、このミラーにより回転走査されるレーザ光を略平行に走査集光するレンズとからなり、前記ガラス基板の斜め下方から前記被測定物の被測定面にレーザ光を照射する投光光学系と、前記被測定面に一方の焦点を有し、レーザ光の走査方向に曲率を有する第1のシリンドリカルレンズと、前記第1のシリンドリカルレンズの他方の焦点の直前に配置され前記レーザ光の一部走査領域を除き、前記ガラス基板の上面からの正反射光を遮断する遮光板と、この遮光板の直後に配置され前記一部走査領域のガラス基板上面からの正反射光及び前記被測定面からのレーザ光の乱反射光の前記遮光板の外側に広がった部分を受光する1次元センサと、前記第1のシリンドリカルレンズの曲率の方向と直交する曲率を有し前記被測定面のレーザ光の反射点の像を前記1次元センサ上に結像する第2のシリンドリカルレンズとからなる受光光学系と、前記1次元センサの出力から被測定面の高さを測定する高さ測定回路と、前記ガラス基板の上面からの正反射光が前記遮光板により遮断されない領域における前記1次元センサの出力値を基準値とする高さの補正回路とを備えたことを特徴とする高さ測定装置。
IPC (5)：
G01B 11/24
, G01B 11/14
, G01C 3/06
, H01S 3/00
, H01L 21/66
