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J-GLOBAL ID：200903069757720545
セラミックスヒーター
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992317049
Publication number (International publication number)：1994163156
Application date： Nov. 26, 1992
Publication date： Jun. 10, 1994
Summary：
【要約】【目的】 早急な被加熱体の昇温が行えるとともに良好な均熱性を達成することができるセラミックスヒーターを提供する。【構成】 セラミックス基体1中に抵抗発熱体2を埋設してなり、被加熱体を載置して加熱するセラミックスヒーターにおいて、抵抗発熱体2に電流を流すことによりヒーター自体を加熱して被加熱体を加熱する抵抗発熱手段と、被加熱体に渦電流を発生させて被加熱体を加熱する渦電流発生手段とから構成する。
Claim (excerpt)：
セラミックス基体中に抵抗発熱体を埋設してなり、被加熱体を載置して加熱するセラミックスヒーターにおいて、抵抗発熱体に電流を流すことによりヒーター自体を加熱して被加熱体を加熱する抵抗発熱手段と、被加熱体に渦電流を発生させて被加熱体を加熱する渦電流発生手段とからなることを特徴とするセラミックスヒーター。
IPC (5)：
H05B 11/00
, H01L 21/205
, H05B 3/14
, H05B 3/18
, H05B 3/20 338
