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J-GLOBAL ID：200903069771603217
質量流量センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993339652
Publication number (International publication number)：1995159215
Application date： Dec. 04, 1993
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：
【要約】【目的】 長期間使用しても信頼性が低下せず、しかも、大量生産が可能である質量流量センサを提供すること。【構成】 流体Fが流れる流路22を形成したガラス基板21に、前記流路22に接するようにしてシリコン基板23を接合し、このシリコン基板23の流路側に面しない表面に、流量検出用のヒータ25,26を形成している。
Claim (excerpt)：
流体が流れる流路を形成したガラス基板に、前記流路に接するようにしてシリコン基板を接合し、このシリコン基板の流路側に面しない表面に、流体流量検出用のヒータを形成したことを特徴とする質量流量センサ。
IPC (2)：
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