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J-GLOBAL ID：200903069776752407

カンチレバー着脱機構

Inventor： 長岡 秀樹 ,  丸山 則夫
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994165147
Publication number (International publication number)：1996029435
Application date： Jul. 18, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】簡単且つ短時間にカンチレバーを交換可能で且つ交換前後の使用状態をほぼ一致させることが可能なコンパクトなカンチレバー着脱機構を提供する。【構成】自由端に探針2を有するカンチレバー4の基端を支持する基板6を着脱自在に構成され且つカンチレバーを所定方向に位置決め保持可能なホルダ26と、カンチレバーを水平面Hに対して所定の傾斜角度θに位置決めさせると共に探針を所定位置に位置決めさせるように、ホルダを着脱自在に支持可能な支持台28とを備える。支持台には、ホルダを挿脱可能なアリ溝30が形成されており、ホルダには、基板を着脱可能な着脱部32が設けられている。着脱部は、基盤を角度θだけ傾斜させて装着可能な装着面32aと、基盤の当接面6bを当接支持する第1のガイド面32bと、バリ6aを回避して傾斜延出され且つその延出端によって基盤の側面6cを当接支持する第2のガイド面32cとを備える。

Claim (excerpt)：

自由端に探針を有するカンチレバーの基端を支持する基板を着脱自在に構成され且つ前記カンチレバーを所定方向に所定角度で位置決め保持可能なホルダと、前記カンチレバーを基準面に対して所定の傾斜角度に位置決めさせると共に前記カンチレバーの探針を所定位置に位置決めさせるように、前記ホルダを着脱自在に支持可能な支持台とを備えていることを特徴とするカンチレバー着脱機構。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 原子間力顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-338780   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• プローブ装置および集積回路検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-327011   Applicant：富士通株式会社