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J-GLOBAL ID：200903069793682218
斜入射干渉計装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
柳田 征史 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994053521
Publication number (International publication number)：1995260419
Application date： Mar. 24, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：
【要約】【目的】 斜入射干渉計装置において物体光を反射する平面反射ミラーを平面状の被検面に対して垂直に配することにより、可干渉光の被検面への入射角の変化に拘らず、物体光を、被検面への入射光に対して平行となるようにして基準面に再入射させ、装置構成を簡易化し、装置のコンパクト化を図る。【構成】 基準面26a は平面精度の高いハーフミラー面とされており、照射された平行光線束の一部を透過して平行光線束31を生成し、その余の平行光線束31を反射して参照光を生成する。平行光線束31は微小な凹凸を有する被検面27a 上に照射され、この被検面27a により正反射されて、物体光32が生成される。物体光32は、被検面27a に対し垂直に配された平面反射ミラー28によって正反射されるため、平行光線束31と平行に基準面26a に再入射する。参照光33と物体光32の干渉によりCCD受光面30上に干渉縞が形成される。
Claim (excerpt)：
可干渉光を、基準板の基準面を通して被検体の被検面に斜めに入射せしめ、該可干渉光の、該被検面における反射により生じた物体光と前記基準面における反射により生じた参照光との光干渉により生じる干渉縞を所定のスクリーン上に形成する斜入射干渉計装置において、前記被検面からの物体光を反射して、直接前記基準面に再入射せしめるよう前記被検面に関して垂直となるように配された平面反射ミラーを備えたことを特徴とする斜入射干渉計装置。
IPC (2)：
G01B 9/02
, G01B 11/30 102
