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J-GLOBAL ID：200903069797400101
グレインサイズがコントロールされたポリシリコン薄膜およびその製法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
曽々木 太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992101898
Publication number (International publication number)：1993275335
Application date： Mar. 28, 1992
Publication date： Oct. 22, 1993
Summary：
【要約】【目的】 安価なガラス基板や金属基板上に形成されているにもかかわらず、グレインサイズがコントロールされてなるポリシリコン薄膜およびその製法を提供する。【構成】 本発明のポリシリコン薄膜は、ガラス基板上に形成され、その基板との界面に100Å以下のサイズのSiO<SB>x</SB>(0<x≦2)の粒子状生成物を核として形成されてなるものである。また、本発明のポリシリコン薄膜の製法は、ガラス基板上に100Å以下のサイズのSiO<SB>x</SB>(0<x≦2)の粒子状生成物を形成し、しかるのち、それを核としてポリシリコン薄膜を形成するものである。
Claim (excerpt)：
基板上に形成されてなるポリシリコン薄膜であって、その基板との界面に100Å以下のサイズのSiO<SB>x</SB>(0<x≦2)の粒子状生成物を有することを特徴とするポリシリコン薄膜。
IPC (6)：
H01L 21/20
, C04B 41/85
, H01L 21/205
, H01L 21/28 301
, H01L 29/784
, H01L 31/04
H01L 29/78 311 F
, H01L 31/04 X
