Pat

J-GLOBAL ID：200903069799321195

微細物体操作装置

Inventor： 安達 日出夫
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993022713
Publication number (International publication number)：1994238578
Application date： Feb. 10, 1993
Publication date： Aug. 30, 1994
Summary：

【要約】【目的】把持・離落ともに確実に行なえる微細物体操作装置を提供する【構成】本体1はステンレス、アルミニウム、チタン等の弾性金属で作られており、対向して延びる二本の挟持脚1a、1bを有している。挟持脚1a、1bには一部に極薄部1a’、1b’が設けてあり、その先端部4a、4bが接近・離反可能になっている。極薄部1a’、1b’の両側にはそれぞれ二枚の圧電素子2aと2b、3aと3bが取り付けてあり、圧電バイモルフ2、3が構成されている。挟持脚1a、1bの先端部4a、4bの内側には、それぞれ強誘電体素子5a、5bが取り付けてある。強誘電体素子5a、5bは、円板状の強誘電体と、その両面に設けた電極とを備えている。微細物体に接する側の電極には中央に開口が設けてある。強誘電体素子5a、5bの表面には高分子樹脂層がコーティングされている。

Claim (excerpt)：

開閉可能な一対の挟持脚を有する本体と、挟持脚を開閉させる圧電アクチュエーターとを有している微細物体操作装置において、挟持脚の先端部の内側に設けた強誘電体素子と、強誘電体素子の分極状態を変化させる手段とを有していることを特徴とする微細物体操作装置。