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J-GLOBAL ID:200903069841139203
開環メタセシス(共)重合体の水素添加物及びその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997295823
Publication number (International publication number):1999130843
Application date: Oct. 28, 1997
Publication date: May. 18, 1999
Summary:
【要約】【課題】 レジスト材として用いられる新規な開環メタセシス(共)重合体の水素添加物を提供する。【解決手段】 少なくとも一般式(1)で表される構造単位[A]と一般式(2)で表される構造単位[B]から構成され、その構成モル比[A]/[B]が5/95〜95/5であり、かつ重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比(Mw/Mn)が1.0〜2.0であることを特徴とする開環メタセシス(共)重合体の水素添加物。
Claim (excerpt):
少なくとも下記一般式(1)【化1】(式中、R1は水素、炭素数1〜20のアルキル、炭素数1〜20のハロゲン化アルキル、炭素数2〜20のアルキルカルボニル、または炭素数2〜20のアルコキシアルコキシであり、R2,R3は水素、炭素数1〜20のアルキル、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、炭素数2〜20のカルボキシアルキル、炭素数1〜20のヒドロキシアルキルまたはニトリルから選ばれ、mは0または1〜3の整数を表す。)で表される構造単位[A]と下記一般式(2)【化2】(式中、R2,R3及びmは一般式(1)のものと同一)で表される構造単位[B]から構成され、その構成モル比[A]/[B]が5/95〜95/5であり、かつ重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比(Mw/Mn)が1.0〜2.0であることを特徴とする開環メタセシス(共)重合体の水素添加物。
IPC (2):
C08G 61/08
, G03F 7/039 501
FI (2):
C08G 61/08
, G03F 7/039 501
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