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J-GLOBAL ID：200903069891726410
走査型プローブ顕微鏡、メモリー装置及びリソグラフィー装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992239715
Publication number (International publication number)：1994088724
Application date： Sep. 08, 1992
Publication date： Mar. 29, 1994
Summary：
【要約】【目的】 装置セッティング直後から長時間にわたって探針と試料との間に相対的な位置ずれが生じることのない装置を実現すること。【構成】 試料の表面に対して先端が対向し、かつ、近接するように配置された探針と、試料に対して探針をこれらの対向方向と直交し、かつ、予め定められた進路に相対的に走査する走査手段と、試料と探針との間に生じる物理量を検出する検出手段とを具備し、走査手段による走査時における検出手段の検出結果から試料表面の観察を行なう走査型プローブ顕微鏡において、探針の走査時に、試料と探針の対向方向と直交する方向に関する試料と探針との相対的な位置を検出し、該検出内容を示す第1の位置ずれ量検出信号を出力する位置ずれ量検出手段と、第1の位置ずれ量検出信号から、試料と探針との走査に伴う信号成分を除去し、第2の位置ずれ量検出信号として出力する走査信号成分除去手段と、第2の位置ずれ量検出信号に基づいて試料と探針との位置ずれを逐次補正する補正手段とを有する。
Claim (excerpt)：
試料の表面に対して先端が対向し、かつ、近接するように配置された探針と、前記試料に対して前記探針をこれらの対向方向と直交し、かつ、予め定められた進路に相対的に走査する走査手段と、前記試料と前記探針との間に生じる物理量を検出する検出手段とを具備し、前記走査手段による走査時における前記検出手段の検出結果から前記試料表面の観察を行なう走査型プローブ顕微鏡において、前記探針の走査時に、前記試料と探針の対向方向と直交する方向に関する試料と探針との相対的な位置を検出し、該検出内容を示す第1の位置ずれ量検出信号を出力する位置ずれ量検出手段と、前記第1の位置ずれ量検出信号から、前記試料と前記探針との走査に伴う信号成分を除去し、第2の位置ずれ量検出信号として出力する走査信号成分除去手段と、前記第2の位置ずれ量検出信号に基づいて前記試料と前記探針との位置ずれを逐次補正する補正手段とを有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (5)：
G01B 21/30
, G01B 11/00
, G11B 9/00
, G12B 5/00
, H01J 37/28
